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微型精密测力平台

微型精密测力平台

challenge

一家向半导体行业提供互连组件的美国制造商需要一种自动化的接触力测量系统，该系统能够测量300毫米基板上非常小的器件的压缩力。

客户需要一个易于配置的系统来测试多种零件类型的数千次测量，测试速率高达每小时3000次，以提供精确的力和高度数据。

solution

为了精确测量该装置，该系统需要在50微米的范围内测量0-30克的力。m压缩距离。 设备高度值必须确定在& plusmn以内。2.5 & micro在整个300毫米的信封上。 为了满足这些要求，该团队设计了一个测试该设备的标准平台。 该平台的特点包括：

  • 使用玻璃刻线栅板绘制XY轴以提高XY精度
  • 将Z轴自动映射到光学平面，以提供平面精度
  • 定制、低质量、空气轴承Z轴平台，带音圈伺服电机和加速度计，利用伺服系统和前馈算法精确测量力和高度
  • 0.019牛顿/毫米力常数的自动绘图
  • 测量高度在2.5µm以内的自动绘图；
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outcomes and benefits

XY轴行程300毫米，XY精度& plusmn5 & microm和& plusmn2度；c、Z轴行程3mm，Z精度& plusmn2.5 & microm，Z重复性优于& plusmn250纳米，测力为0 & ndash 2 mN分辨率下0.3牛顿
小机器非常精确地测量力
Industry
Battery & Energy
Technical Capabilities
Inspection & Testing Micro Precision Applications
Region
Door Hinge Robots 2

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