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Optische Prozessoranlage

Optischer Prozessor

challenge

Ein großer US-amerikanischer Halbleiterhersteller musste eine Fensterstruktur in einer Kammer mit niedriger Luftfeuchtigkeit, die eine präzise Mischung aus Helium- und Stickstoffgasen enthielt, präzise ausrichten und mit einem optischen Prozessorsubstrat verschweißen.

solution

Nachdem ein SCARA-Roboter den Substrattyp mit einer Kamera identifiziert hat, nimmt er das Substrat auf und legt es auf den Ausrichtungstisch. Nach der Identifizierung des Fenstertyps nimmt derselbe Roboter das Fenster auf und legt es in ein Kontrollsystem, das nach optischen Fehlern im Glas sucht. Dann stellt der Roboter die Fensterposition relativ zum Substrat mit Hilfe einer Kamera auf einem genau abgebildeten X/Y-Tisch ein. Die endgültige Ausrichtung beträgt eine Toleranz von 10 µm. Das Fenster und das Substrat werden zusammengeklemmt und der Roboter gibt die Baugruppe in eine zweite Roboterkammer frei, in der die Baugruppe an allen vier Seiten nahtgeschweißt wird. Die Baugruppe wird dann einer Dichtigkeitsprüfung unterzogen.

outcomes and benefits

Bildgestützte Robotertechnik, Vermessung von zwei Lineartischen mit einer Gitterplatte zur Verbesserung der X/Y-Genauigkeit auf 5 µm, Kann 34 verschiedene Teiletypen verarbeiten
Bildgestützte Roboter führen präzise Aufgaben für Halbleiterunternehmen aus
Industry
Battery & Energy
Technical Capabilities
Inspection & Testing Assembly Solutions Micro Precision Applications Welding Applications
Region
Door Hinge Robots 2

ÜBER JR AUTOMATION

JR Automation ist ein Anbieter intelligenter automatisierter Fertigungs- und Verteiltechnik-Lösungen. Wir verändern die Art und Weise, wie die weltweit führenden Hersteller Produkte herstellen und vertreiben.

 

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